三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測(cè)領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測(cè)量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測(cè)量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測(cè)技術(shù)都是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)行速度的加快，動(dòng)態(tài)誤差往往會(huì)比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對(duì)測(cè)量精度影響更大。特別在高速測(cè)量過(guò)程中，產(chǎn)生的自激振動(dòng)和受迫振動(dòng)，都會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)幾何誤差檢測(cè)的手段。

其中垂直度測(cè)量是通過(guò)比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞、機(jī)器地基差、正交軸上兩原點(diǎn)傳感器未準(zhǔn)直等因素造成的，垂直度誤差將對(duì)機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體，在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下，可實(shí)現(xiàn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度檢測(cè)分析。

垂直度測(cè)量構(gòu)建

SJ6000激光干涉儀垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原為，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度。

SJ6000激光干涉儀

垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)件圖

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)XY軸的垂直度測(cè)量