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談?wù)劰鈱W(xué)輪廓儀在各個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-08-16點(diǎn)擊次數(shù):900
  光學(xué)輪廓儀是一種基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的高精度測(cè)量?jī)x器,它廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,以非接觸、無(wú)損的方式對(duì)精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量。其通過(guò)不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測(cè)光路。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后,被分光棱鏡分成兩束光:一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,形成干涉條紋。顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。
  光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍:
  1、精密加工:在精密加工領(lǐng)域,用于測(cè)量零件表面的粗糙度、刻線深度、鍍層厚度等微觀結(jié)構(gòu)。例如,量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度以及標(biāo)尺、度盤的刻線深度等,這些精確測(cè)量對(duì)于保證精密零件的性能至關(guān)重要。
  2、半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體行業(yè)中,輪廓儀用于檢測(cè)硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量,還能應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝工藝檢測(cè)。由于其非接觸式無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn),可以高效地對(duì)超光滑或粗糙的表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量。
  3、材料科學(xué)研究:材料科學(xué)中,輪廓儀用于分析材料的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,如表面粗糙度、平面度、平行度等關(guān)鍵參數(shù)。這種測(cè)量指導(dǎo)生產(chǎn)過(guò)程,優(yōu)化產(chǎn)品性能。
  4、生物化學(xué)研究:在生物學(xué)和化學(xué)研究中,輪廓儀可以用于高靈敏度的光熱效應(yīng)弱吸收測(cè)量和總積分散射測(cè)量。這些測(cè)量幫助研究人員了解生物組織和化學(xué)樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
  5、微機(jī)械學(xué)研究:微機(jī)械學(xué)領(lǐng)域中,輪廓儀用于測(cè)量微小機(jī)械部件的三維結(jié)構(gòu),如MEMS器件的表面形貌特征。這對(duì)于微型傳感器和執(zhí)行器的設(shè)計(jì)與制造非常重要。
  6、3C產(chǎn)業(yè)鏈:在3C產(chǎn)業(yè)鏈中,光學(xué)輪廓儀被廣泛應(yīng)用于玻璃屏、手機(jī)金屬殼模具瑕疵及油墨屏高度差的測(cè)量。這些高精度測(cè)量直接影響到電子產(chǎn)品的外觀和性能。

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