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中圖儀器SJ5700DUAL高精度智能螺紋輪廓掃描儀可全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測(cè)量，大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。儀器X軸、Z軸均為獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，采用兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法，實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過(guò)能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題。

SJ5800表面粗糙度輪廓儀超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于2nm。一次測(cè)量可同時(shí)評(píng)定粗糙度及輪廓參數(shù)，分析評(píng)定R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)等微觀粗糙度參數(shù)及倒角、R角、直線度、位置尺寸、角度的宏觀輪廓參數(shù)。

中圖儀器SJ5800接觸式粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的高精度測(cè)量?jī)x器，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm。可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)。

SuperViewW13d光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

SJ5700S大行程粗糙度輪廓儀可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來(lái)評(píng)定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測(cè)量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)。該儀器還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試評(píng)定。

中圖儀器SJ5700S接觸式輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，具備雙向測(cè)量功能，能測(cè)量30mm以內(nèi)的雙向輪廓尺寸；可對(duì)多次測(cè)量的輪廓曲線匹配后進(jìn)行分析測(cè)量重復(fù)性；具備60μm以下的表面薄膜臺(tái)階高度高精度測(cè)量功能。