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中圖儀器VT6000系列激光共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

臺階儀高精度薄膜厚度與臺階高度測量軟件包含多個模塊。500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時進(jìn)行高精度定位測量?？梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測量更加直觀。

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1國產(chǎn)自研白光形貌干涉儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.

自設(shè)計(jì)之初，VT6000共聚焦高精度三維顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標(biāo)。儀器采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。

中圖儀器國產(chǎn)臺階儀廠商N(yùn)S系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。