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產(chǎn)品中心

當前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀
國產(chǎn)激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

國產(chǎn)激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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詳細介紹在線留言

一、產(chǎn)品介紹

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>


二、國產(chǎn)激光干涉儀線性測量

線性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線性測量的光路原理構(gòu)建圖

1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);

2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;

3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。


三、線性測量配置及使用方法

線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。


SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。


線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標采集方式,即:被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點,當運動軸移動到設(shè)定的定位點時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。


四、線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。


五、線性測量附件

輕型線性鏡組 —— 特殊場合的應(yīng)用

輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡,其中小角錐反射鏡的重量為8g,可以直接吸附在被測物體上,降低線性反射鏡的重量影響。


六、主要應(yīng)用場合

1、線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度;

2、線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合;



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