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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀SuperView W1系列三維表面形貌儀
三維表面形貌儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2278
詳細(xì)介紹在線留言

SuperView W1系列三維表面形貌儀基于白光干涉原理研制而成,采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。


白光干涉原理

500白光干涉原理.jpg


產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測(cè)樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、快速高效

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1-Pro

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY位移平臺(tái):尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動(dòng)

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測(cè)樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、快速高效

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


500兩種型號(hào).jpg


技術(shù)指標(biāo)

500技術(shù)指標(biāo).jpg


產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測(cè)量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網(wǎng)打盡;

環(huán)境噪聲檢測(cè):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),納米波動(dòng),也無可藏匿;

雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

自動(dòng)拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

雙重振動(dòng)隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動(dòng)山搖,我自巋然不動(dòng)"。


產(chǎn)品性能

縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速:50FPS/s

粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)

光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)

*大點(diǎn)數(shù):1048576(標(biāo)準(zhǔn))

臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ


SuperView W1系列三維表面形貌儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。





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