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產(chǎn)品中心

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機床激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀精度高,抗干擾能力強,空氣湍流、熱波動等影響甚微,不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測,同時可進行動態(tài)高速測量,配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1969
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機床的定位精度和重復(fù)定位精度都是用激光干涉儀來檢測的。中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀是高精度線性位移測量儀器,采用氦氖激光器作為光源。其精度高,抗干擾能力強,空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此降低了對環(huán)境條件的要求,使它不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。



SJ6000機床激光干涉儀可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm,可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測,它可以棄普通車間進行應(yīng)用,具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力,同時可進行動態(tài)高速測量,配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。


鏡組.png

其線性鏡組應(yīng)用于機器軸的定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等;也可用于機器軸的動態(tài)測量分析。



500測量機床直線度.jpg


產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號: SJ6800

產(chǎn)品名稱: 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式: 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度: 0.04ppm

測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)

測量分辨力:1nm

測量至大速度:4m/s

線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃

角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)

主要特點:絕對測量、恒測力、無阿貝誤差


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