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光學(xué)表面輪廓檢測儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1819
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中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。


SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。


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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析,測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


SuperViewW1光學(xué)表面輪廓檢測儀載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的最高精度可達(dá)0.1nm。


【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;


【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um;

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SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項技術(shù)能力強(qiáng),具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

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