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3d輪廓檢測(cè)儀器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在測(cè)量大尺寸樣品時(shí),中圖3d輪廓檢測(cè)儀器的拼接功能,能將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1828
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中圖3d輪廓檢測(cè)儀器可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm(可定制),測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可達(dá)0.1nm。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


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在測(cè)量大尺寸樣品時(shí),中圖3d輪廓檢測(cè)儀器的拼接功能,能將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。


自動(dòng)拼接功能.jpg



在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度;

......


應(yīng)用范例1.jpg



技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

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