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非接觸式3d光學(xué)輪廓儀

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?中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。非接觸高精密測(cè)量方式,不會(huì)劃傷甚至破壞工件,而且測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1475
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中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。


SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg


它采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。


結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg


主要應(yīng)用領(lǐng)域:

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量;

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量;

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量;

5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。


SuperViewW1非接觸式3d光學(xué)輪廓儀非接觸高精密測(cè)量方式,不會(huì)劃傷甚至破壞工件,而且測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

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