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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測(cè)量儀白光干涉儀SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀
白光干涉儀粗糙度儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1478
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SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量??蓪?duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


國產(chǎn)白光干涉儀,超納白光干涉儀.jpg


除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求,X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


國產(chǎn)白光干涉儀,超納白光干涉儀.jpg


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


日常維護(hù)

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動(dòng),儀器搬動(dòng)時(shí),應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。

2、光學(xué)零件不用時(shí),應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時(shí),須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭。

3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時(shí),各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。

6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。



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