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光學(xué)粗糙度測量儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1光學(xué)粗糙度測量儀在材料科學(xué)研究,新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用,比如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度,測量材料的磨損性能(通過白光干涉儀測量磨損輪廓和粗糙度)。在MEMS測試項目中,表面特性(粗糙度、臺階高)是一個非常重要的項目,目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D輪廓儀(白光干涉儀)進行測量。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1295
詳細介紹在線留言

SuperViewW1光學(xué)粗糙度測量儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。


結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


1206.jpg


部分參數(shù)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

表面形貌重復(fù)性:0.1nm

臺階測量重復(fù)性:0.1% 1σ;準確度:0.75%


SuperViewW1光學(xué)粗糙度測量儀在材料科學(xué)研究,新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用,比如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度,測量材料的磨損性能(通過白光干涉儀測量磨損輪廓和粗糙度)。在MEMS測試項目中,表面特性(粗糙度、臺階高)是一個非常重要的項目,目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D輪廓儀(白光干涉儀)進行測量。

在3C領(lǐng)域,可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),可以測量臺階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。

應(yīng)用范例1.jpg


SuperViewW1可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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