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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x臺(tái)階儀NS200接觸式臺(tái)階儀
接觸式臺(tái)階儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器NS系列接觸式臺(tái)階儀是利用光學(xué)干涉原理,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。

產(chǎn)品型號(hào):NS200
更新時(shí)間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1010
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中圖儀器NS系列接觸式臺(tái)階儀是利用光學(xué)干涉原理,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。

接觸式臺(tái)階儀

NS系列臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于:大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車(chē)、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。如在太陽(yáng)能光伏行業(yè)中,通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。


產(chǎn)品特性

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿(mǎn)足被測(cè)件測(cè)量精度要求

線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)

測(cè)力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線(xiàn)度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),提高掃描精度,真實(shí)反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機(jī)

5.全自動(dòng)XY載物臺(tái), Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)

6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊,為對(duì)不同被測(cè)件的高度測(cè)量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持。

接觸式臺(tái)階儀

NS系列接觸式臺(tái)階儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。


典型應(yīng)用

接觸式臺(tái)階儀


部分技術(shù)參數(shù)

型號(hào)NS200
測(cè)量技術(shù)探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
樣品R-θ載物臺(tái)電動(dòng),360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長(zhǎng)度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺(tái)晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對(duì)濕度:濕度 (無(wú)凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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