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當前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀白光干涉儀SuperViewW1白光干涉儀測量粗糙度設備
白光干涉儀測量粗糙度設備

產(chǎn)品簡介

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設備以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-06-07
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:696
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中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設備以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

白光干涉儀測量粗糙度設備

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應用領域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


粗糙度測量應用案例

白光干涉儀測量粗糙度設備

硅晶圓粗糙度測量

白光干涉儀測量粗糙度設備

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

白光干涉儀測量粗糙度設備

藍寶石粗糙度測量


SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設備可根據(jù)客戶精度要求,將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節(jié),此外針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

白光干涉儀測量粗糙度設備

性能特色

1、高精度、高重復性

1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

白光干涉儀測量粗糙度設備


部分技術指標

型號W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺

標配:3孔手動

選配:5孔電動


XY位移平臺

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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