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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測(cè)量儀激光干涉儀SJ6000激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度
激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。

產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
更新時(shí)間:2024-07-04
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:589
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SJ6000激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度


SJ6000激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、激光干涉儀具有非常高的測(cè)量精度和重復(fù)性。

2、激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,不會(huì)對(duì)被測(cè)量物體造成損傷。

3、激光干涉儀具有實(shí)時(shí)性測(cè)量能力,能夠同時(shí)測(cè)量多個(gè)位置或參數(shù),提高測(cè)量效率。


測(cè)量軟件特點(diǎn)

(1)友好的人機(jī)界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。


產(chǎn)品應(yīng)用

激光干涉儀是一種能夠測(cè)量機(jī)床精度的高精度測(cè)量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

1.測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測(cè)量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測(cè)量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測(cè)量工作臺(tái)上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài),并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測(cè)量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測(cè)量主軸上的干涉條紋,可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測(cè)量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系,從而檢測(cè)和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測(cè)機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動(dòng)情況,及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度

對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償



部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時(shí)間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測(cè)量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測(cè)量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測(cè)量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測(cè)量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測(cè)量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測(cè)量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項(xiàng):

平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。



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