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當前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀共聚焦顯微鏡VT6100共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡
共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡

產(chǎn)品簡介

VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

產(chǎn)品型號:VT6100
更新時間:2024-10-09
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:598
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中圖儀器VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理,結合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析。儀器主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。


不同應用場景下的3D形貌

影像測量功能界面

共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡

應用案例

1、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,需要對晶圓進行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽,在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進行檢測。

共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力,直接影響著太陽能電池的性能。VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡可以對柵線進行快速檢測。此外,太陽能電池制作過程中,制絨作為關鍵核心工藝,金字塔結構的質(zhì)量影像減反射焰光效果,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建。

共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡

3、其他

共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡


部分技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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