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高精度探針式輪廓儀

產(chǎn)品簡介

NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-12-10
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:336
詳細介紹在線留言

中圖儀器NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

高精度探針式輪廓儀

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3)應力測量:可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1)單區(qū)域測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2)多區(qū)域測量模式:完成Focus后,根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,可根據(jù)橫向和縱向距

離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3)3D測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域

寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置,一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑,在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

NS系列高精度探針式輪廓儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

高精度探針式輪廓儀

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,結(jié)合單拱龍門式設計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量;

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


應用場景

高精度探針式輪廓儀


部分技術參數(shù)

型號NS200
測量技術探針式表面輪廓測量技術
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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