中圖儀器VT6000國產激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像。
自設計之初,VT6000系列3d激光共聚焦形貌顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據并提供數(shù)據報表導出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能.
VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器整體結構簡單,由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計。
在材料生產檢測領域中,VT6000轉盤共聚焦高分辨率顯微鏡結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
VT6000系列3d激光共聚焦顯微鏡整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計;配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。
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